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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 反馈补偿对高Q值加速度计动态性能的影响 期刊论文 半导体技术, 2011, 期号: 01 戚玉婕; 车录锋; 孙腾; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/04/13 电容式加速度计  反馈补偿参数  Q值  微机械系统  MATLAB