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相变存储器加热电极的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101567420, 申请日期: 2009-10-28, 公开日期: 2009-10-28
冯高明; 宋志棠; 刘波; 封松林; 万旭东; 吴关平
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以单壁碳纳米管为电极的横向相变存储器的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101521177, 申请日期: 2009-09-02, 公开日期: 2009-09-02
宋志棠; 吕士龙
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一种纳米结构套刻的模板设计和实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101364043, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
刘彦伯; 钮晓鸣; 宋志棠; 闵国全; 周伟民; 李小丽; 刘波; 张静; 万永中; 封松林
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一种纳米级相变存储单元阵列制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101364567, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
刘彦伯; 钮晓鸣; 宋志棠; 闵国全; 周伟民; 李小丽; 刘波; 万永中; 封松林
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一种大面积高密度相变材料阵列的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101364564, 申请日期: 2009-02-11, 公开日期: 2009-02-11
刘彦伯; 钮晓鸣; 宋志棠; 闵国全; 刘波; 周伟民; 李小丽; 万永中; 封松林
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相变存储器加热电极与相变材料刻蚀工艺研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2009
冯高明
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相变存储器存储单元及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1933207, 申请日期: 2007-03-21, 公开日期: 2007-03-21
宋志棠; 刘波; 封松林; 陈邦明
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电子束曝光中套刻工艺的实现方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1912747, 申请日期: 2007-02-14, 公开日期: 2007-02-14
宋志棠; 吕士龙; 刘波; 封松林
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最小尺寸为纳米量级图形的印刻法制备工艺 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1554987, 申请日期: 2004-12-15, 公开日期: 2004-12-15
宋志棠; 张挺; 夏吉林; 封松林; 陈宝明
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