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| 一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101655576, 申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2010-02-24 杨志峰; 方娜; 武爱民; 王曦 收藏  |  浏览/下载:65/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| KOH各向异性腐蚀中预处理对硅表面粗糙度的影响 期刊论文 半导体光电, 2010, 期号: 04 夏伟锋; 冯飞; 王权; 熊斌; 戈肖鸿 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 石墨/LiCoO_2电池充放电过程电极活性材料结构演变研究 期刊论文 化学学报, 2010, 期号: 07 李佳; 杨传铮; 张建; 张熙贵; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 同步辐射的基本知识 第五讲 同步辐射中的成像术及其应用(二) 期刊论文 理化检验(物理分册), 2009, 期号: 10 杨传铮; 程国峰; 黄月鸿 收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 柠檬酸协助的Y_2O_3包覆LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2材料性能研究 期刊论文 华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1 刘浩涵; 张建; 张熙贵; 谢晓华; 李佳; 夏保佳 收藏  |  浏览/下载:102/0  |  提交时间:2012/01/06
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| 基于硅硅键合和绝缘层上硅的压力传感器芯片及方法 专利 专利类型: 发明, 专利号: CN101271028, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2008-09-24 武爱民; 陈静; 王曦; 魏星; 张波; 王曦 收藏  |  浏览/下载:54/0  |  提交时间:2012/01/06 |
| 基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008 肖飞 收藏  |  浏览/下载:27/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文 传感技术学报, 2008, 期号: 02 徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/01/06
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| “8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文 硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007 王育才 收藏  |  浏览/下载:85/0  |  提交时间:2012/03/06
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| 一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计 期刊论文 半导体学报, 2007, 期号: 05 王育才; 焦继伟; 段飞; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林 收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2012/01/06
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