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一种SOI基三维楔形耦合器集成衬底结构的制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101655576, 申请日期: 2010-02-24, 公开日期: 2010-02-24
杨志峰; 方娜; 武爱民; 王曦
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KOH各向异性腐蚀中预处理对硅表面粗糙度的影响 期刊论文
半导体光电, 2010, 期号: 04
夏伟锋; 冯飞; 王权; 熊斌; 戈肖鸿
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2012/01/06
石墨/LiCoO_2电池充放电过程电极活性材料结构演变研究 期刊论文
化学学报, 2010, 期号: 07
李佳; 杨传铮; 张建; 张熙贵; 夏保佳
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同步辐射的基本知识 第五讲 同步辐射中的成像术及其应用(二) 期刊论文
理化检验(物理分册), 2009, 期号: 10
杨传铮; 程国峰; 黄月鸿
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2012/01/06
柠檬酸协助的Y_2O_3包覆LiNi_(1/3)Co_(1/3)Mn_(1/3)O_2材料性能研究 期刊论文
华南师范大学学报(自然科学版), 2009, 期号: S1
刘浩涵; 张建; 张熙贵; 谢晓华; 李佳; 夏保佳
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基于硅硅键合和绝缘层上硅的压力传感器芯片及方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101271028, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2008-09-24
武爱民; 陈静; 王曦; 魏星; 张波; 王曦
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基于自停止腐蚀的双面梁-质量块结构加速度传感器研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2008
肖飞
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一种圆片级硅三层键合的三明治加速度传感器 期刊论文
传感技术学报, 2008, 期号: 02
徐玮鹤; 林友玲; 车录锋; 李玉芳; 熊斌; 王跃林
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“8悬臂梁-质量块”结构的新型微加速度计研究 学位论文
硕士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王育才
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一种具有“8悬臂梁-质量块”结构的新型硅微加速度计 期刊论文
半导体学报, 2007, 期号: 05
王育才; 焦继伟; 段飞; 张颖; 宓斌玮; 李金鹏; 钱清; 王跃林
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