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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 期刊论文 仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2012/01/06 UV-LIGA  电镀  厚胶工艺  射频无源器件  微机械探卡   硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制 会议论文 第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009 王家畴; 李昕欣; 孙立宁 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2012/01/18 MEMS器件 硅基片 集成式定位平台 位移传感器 闭环控制 开环控制 自适应PID控制