硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制

CORC > 上海微系统与信息技术研究所 > 中文期刊、会议、专利、成果 > 国内会议论文

	硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制
	王家畴 ; 李昕欣 ; 孙立宁
	2009
会议名称	第11届全国敏感元件与传感器学术会议
会议日期	2009
关键词	MEMS器件硅基片集成式定位平台位移传感器闭环控制开环控制自适应PID控制
中文摘要	为了解决纳米级定位平台小型化、低能耗、定位精度高的问题,基于结构、驱动和检测一体化的设计理念,研制出了一种硅基片上集成式微型平面纳米级XY定位平台,在建立定位平台数学模型基础上,利用Matlab分析软件对定位平台开环和闭环控制特性进行了比较和仿真分析。在实际控制中,针对硅微机械加工的MEMS器件难以获取精确数学模型的不足,将单神经元算法和传统PID控制算法相结合,设计了具有自动识别被控过程参数并对控制参数进行实时自校正的单神经元自适应PID控制器,依靠平台自身集成的位移传感器实现了定位平台的位置闭环控制,
会议网址	http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283798.aspx
会议录	第11届全国敏感元件与传感器学术会议论文集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/55528]
专题	上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_国内会议论文
推荐引用方式 GB/T 7714	王家畴,李昕欣,孙立宁. 硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制[C]. 见:第11届全国敏感元件与传感器学术会议. 2009.http://d.wanfangdata.com.cn/Conference_7283798.aspx.