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微电子研究所 [5]
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期刊论文 [3]
专利 [2]
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2017 [1]
2016 [3]
2011 [1]
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专题:微电子研究所
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鳍式场效应晶体管及其制造方法
专利
专利号: US9679962, 申请日期: 2017-06-13, 公开日期: 2016-06-30
作者:
朱慧珑
;
许淼
;
赵利川
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2018/07/18
Gate patterning in 14 nm and beyond nodes: from planar devices to three dimensional Finfet devicesLingkuan
期刊论文
Applied Surface Science, 2016
作者:
Meng LK(孟令款)
;
Hong PZ(洪培真)
;
He XB(贺晓彬)
;
Li CL(李春龙)
;
Li JJ(李俊杰)
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2017/05/09
半导体器件制造方法
专利
专利号: US9425288, 申请日期: 2016-08-23, 公开日期: 2014-01-09
作者:
钟汇才
;
梁擎擎
;
赵超
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2017/06/12
Bulk FinFETs with body spacers for improving fin height variation
期刊论文
Solid-State Electronics, 2016
作者:
Wei X(魏星)
;
Zhu HL(朱慧珑)
;
Zhang YB(张严波)
;
Zhao C(赵超)
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2017/05/09
"Process Impact and Design Optimization on the
期刊论文
ECS Transactions, 2011
作者:
Li M(李萌)
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提交时间:2012/11/16
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