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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 一种提取电子束光刻中电子散射参数的新方法 期刊论文 半导体学报, 2005, 卷号: 26, 期号: 3, 页码: 5，455-459 作者:  康晓辉;  李志刚;  刘明;  谢常青;  陈宝钦 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/26 电子束光刻