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互连结构 专利
专利号: CN201310395701.5, 申请日期: 2018-06-22, 公开日期: 2015-03-18
作者:  钟汇才;  朱慧珑;  张鹏
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一种三维光电集成结构及其制作方法 专利
专利号: CN201510528257.9, 申请日期: 2018-05-08, 公开日期: 2016-02-10
作者:  刘丰满;  曹立强;  郝虎
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基于光敏玻璃的垂直互连通孔仿真与电镀工艺研究 期刊论文
北京理工大学学报, 2017
作者:  王启东;  林来存;  曹立强;  邱德龙
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穿硅通孔结构及其形成方法 专利
专利号: CN201110036024.9, 申请日期: 2016-03-30, 公开日期: 2012-08-15
作者:  欧文;  赵超;  陈大鹏
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穿硅通孔结构及其形成方法 专利
专利号: CN201110059582.7, 申请日期: 2015-02-04, 公开日期: 2012-09-19
作者:  赵超;  陈大鹏;  欧文
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一种基于光栅接口的光子芯片封装结构及其制作方法 专利
申请日期: 2015-01-01,
作者:  曹立强;  郝虎;  刘丰满
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3D集成电路结构及其形成方法 专利
专利号: CN201010502039.5, 申请日期: 2014-10-15, 公开日期: 2012-05-09
作者:  朱慧珑
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金属互连结构及金属层间通孔和互连金属线的形成方法 专利
专利号: CN201010501703.4, 申请日期: 2014-06-25, 公开日期: 2012-05-09
作者:  赵超
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一种夹层式压力传感器封装结构及工艺方法 专利
专利号: CN201320592233.6, 申请日期: 2014-04-02,
作者:  周云燕;  宋见;  王启东;  曹立强
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制备三维半导体存储器件的方法 专利
专利号: CN201010611894.X, 申请日期: 2014-03-12, 公开日期: 2012-07-04
作者:  霍宗亮;  刘明
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