QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：电工研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于SEM的电子束曝光软件系统研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2008 1魏淑华,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  软件系统  数据格式  图形分割  邻近效应校正 Electron beam lithography  Software system  Exposure data format  Graphics segmentation  Proximity effect correction   纳米级多功能聚焦离子束光柱体的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2007 1李文萍,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2010/10/18 聚集离子束  动态校正  三维模型法  一体化设计  库仑力效应 Focused ion beam, Dynamic correction, 3-D modeling, Integrated design   扫描电子束曝光机背散射电子检测与对准技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院电工研究所, 2005 1李晨菲,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束扫描曝光机  背散射电子检测电路  扫描场畸变  自动线性校正 Scanning-Electron-Beam Lithographic System  backscattered electron detection circuit  distortion of e-beam field  automatic correction   纳米级电子束曝光机聚焦偏转系统的研究 学位论文 博士: 中国科学院电工研究所, 2005 1刘珠明,电工研究所 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2010/10/18 电子束曝光  纳米级聚焦偏转系统  高级像差 Electron beam lithography  Nanometer-scale focusing-deflection system  High-order aberrations