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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 光刻机智能控制系统设计 期刊论文 红外与激光工程, 2013, 卷号: 42, 期号: S2, 页码: 317-322 作者:  王楠;  蒋薇;  严伟;  胡松 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/23 光刻机  FPGA  ARM  智能控制   交流伺服系统位置速度控制研究 学位论文 硕士, 中国科学院光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2003 彭志龙 收藏  |  浏览/下载：43/0  |  提交时间：2013/11/19 交流伺服系统  细分倍频  控制卡  PID控制算法