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光电技术研究所 [23]
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接近接触式光刻系统中的自动对准技术研究
学位论文
中国科学院光电技术研究所: 中国科学院大学, 2021
作者:
张绍宇
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2021/06/16
接近接触式光刻
光刻对准
图像处理
基于自适应光学的视觉诱发电位测量系统
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2018
作者:
杨彦荣
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浏览/下载:109/0
  |  
提交时间:2018/05/25
视觉诱发电位
自适应光学技术
人眼像差
幅度
潜伏期
二元微结构光学主镜拼接对准检测技术
学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
周旭东
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2015/07/28
拼接菲涅尔透镜
失调误差
干涉检测
计算机辅助装调
纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:
邸成良
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浏览/下载:64/0
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提交时间:2015/07/30
光刻
检焦
莫尔条纹
相位分析
配准差分在深空小目标检测中的应用
期刊论文
光电工程, 2015, 卷号: 42, 期号: 11, 页码: 76-82
作者:
魏敏
;
文武
;
周进
;
何嘉
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/11/01
配准量
像旋
膨胀
二值滤波
星空背景
一种新的相机外参数标定方法
期刊论文
半导体光电, 2014, 卷号: 35, 期号: 6, 页码: 1127-1130
作者:
王卫文
;
杨威
;
罗剑
;
周进
;
吴钦章
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2016/11/01
相机标定
外参数
标定杆
近景摄影测量
一种基于局部极值搜索的快速运动估计算法
期刊论文
光电工程, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 22-27
作者:
夏校朋
;
刘恩海
;
蒲松柏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2016/11/03
运动估计
快速运动搜索
局部极值
一种数字光栅无掩模光刻对准方法
期刊论文
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 3, 页码: 244-249
作者:
唐路路
;
胡松
;
徐峰
;
唐燕
;
陈铭勇
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2016/11/23
光栅
数字光栅
变频率光栅
无掩模光刻
对准方法
基于等效叠栅的反射式光刻对准模型研究
期刊论文
中国激光, 2012, 卷号: 39, 期号: 9, 页码: 168-172
作者:
朱江平
;
胡松
;
于军胜
;
唐燕
;
周绍林
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/11/23
光栅
光刻对准
反射式光路
叠栅条纹
光栅标记
基于光栅调制相位成像的纳米对准方法研究
学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2011
周绍林
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2014/12/11
光学加工
光刻
对准
衍射光栅
相位成像
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