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电子学研究所 [9]
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专利 [7]
学位论文 [2]
发表日期
2010 [7]
2005 [2]
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专题:电子学研究所
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静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2006-09-13, 2010-12-24
夏善红
;
彭春荣
;
白 强
;
陈绍凤
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2010/12/24
静电梳齿激励差分检测式微型电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2006-09-13, 2010-12-24
夏善红
;
彭春荣
;
白 强
;
陈绍凤
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2010/12/24
感应电极式三维电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2007-01-17, 2010-12-24
白 强
;
张 星
;
郑凤杰
;
夏善红
收藏
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浏览/下载:9/0
  |  
提交时间:2010/12/24
小型三维电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2007-02-07, 2010-12-24
白 强
;
张 星
;
郑凤杰
;
夏善红
;
陈绍凤
收藏
  |  
浏览/下载:9/0
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提交时间:2010/12/24
交错振动式电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2006-12-13, 2010-12-24
夏善红
;
龚 超
;
陶 虎
;
白 强
;
陈绍凤
收藏
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浏览/下载:1/0
  |  
提交时间:2010/12/24
小型三维电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2007-02-07, 2010-12-24
白 强
;
张 星
;
郑凤杰
;
夏善红
;
陈绍凤
收藏
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浏览/下载:14/0
  |  
提交时间:2010/12/24
交错振动式电场传感器
专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-12-24, 公开日期: 2006-12-13, 2010-12-24
夏善红
;
龚 超
;
陶 虎
;
白 强
;
陈绍凤
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/12/24
MEMS电场传感器的设计与工艺研究
学位论文
硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2005
邓凯
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2011/07/19
微机电系统
深刻蚀
阳极键和
体加工
表面加工
MEMS电场传感器的设计与工艺研究
学位论文
硕士, 中国科学院电子学研究所: 中国科学院电子学研究所, 2005
邓凯
收藏
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浏览/下载:199/0
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提交时间:2011/07/19
微机电系统
深刻蚀
阳极键和
体加工
表面加工
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