| 交错振动式电场传感器 | |
| 夏善红 ; 龚 超 ; 陶 虎 ; 白 强 ; 陈绍凤 | |
| 2010-12-24 | |
| 专利国别 | 中国 |
| 专利类型 | 发明 |
| 权利人 | 中国科学院电子学研究所 |
| 中文摘要 | 本发明是一种交错振动式微型电场传感器，包括基底1，感应电极2，屏蔽电极3，驱动结构4，外壳5。感应电极2和屏蔽电极3边缘有处于交错状态的梳齿。当屏蔽电极3表面凸出于感应电极2的表面时，感应电极2表面感应电荷较多；当屏蔽电极3表面下凹于感应电极2的表面时，感应电极表面感应电荷较少。在驱动结构4上施加驱动电压时，感应电极2和屏蔽电极3的相对位置随时间发生变化，输出感应电流。测量这个电流的大小可以测量电场强度。这种振动方式使本发明传感器具有感应信号大、工作状态稳定的特点。 |
| 公开日期 | 2006-12-13 ; 2010-12-24 |
| 申请日期 | 2005-06-09 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200510011895.X |
| 专利代理 | 周国城 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.ie.ac.cn/handle/80137/5251]  |
| 专题 | 电子学研究所_传感技术国家重点实验室（北方基地）_传感技术国家重点实验室（北方基地）_专利 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 夏善红,龚 超,陶 虎,等. 交错振动式电场传感器. 2010-12-24. |
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