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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关研究 学位论文 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007 作者:  孔庆峰 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/21 光开关  电磁驱动  Liga工艺  聚酰亚胺   利用普通紫外光深刻层光刻的分离曝光工艺方法 (发明) 专利 专利类型: 发明专利, 申请日期: 2004-10-06, 公开日期: 2004-10-06 廖新胜; 刘云; 王立军 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2012/08/29