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| MOEMS集成波长选择开关的设计及研究 期刊论文
微纳电子技术, 2017, 页码: 597-604+626
作者: 时建; 梁静秋; 陈成; 吕金光; 秦余欣
  收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/04/09
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| 空间调制微型傅里叶变换红外光谱仪研究 期刊论文
中国光学, 2015, 期号: 02, 页码: 277-298
作者: 梁静秋; 梁中翥; 吕金光; 秦余欣; 田超
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/07/06
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| 一种单面电极结构的AlGaInP-LED集成微显示器件的制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210255704.4, 申请日期: 2014-11-19, 公开日期: 2014-11-19
田超 梁静秋 梁中翥 王维彪
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2015/02/10 |
| 平面电磁型微电机定转子制作工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2009, 期号: 9
杨杰伟; 刘治华; 赵江铭; 吴一辉
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2012/09/25
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| 含N_N_二乙基硫脲添加剂的微电铸工艺金属铜填洞机理 期刊论文
光学精密工程, 2008, 期号: 9
吴一辉
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/09/25 |
| 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵 期刊论文
功能材料与器件学报, 2008, 期号: 1
吴一辉; 张平
收藏 | 浏览/下载：100/0 | 提交时间：2012/09/25 |
| 用于波长信道选择器的微型电磁光开关研究 学位论文
硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2008
钟砚超
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/03/21
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| 聚酰亚胺微悬臂梁理论及实验 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2007, 期号: 4
钟砚超; 梁静秋; 李小奇; 李伟; 王淑荣; 梁中翥; 孙德贵
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/09/25
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| 基于MEMS工艺的高能量密度微电磁驱动器 期刊论文
光学精密工程, 2007, 期号: 6
吴一辉
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2012/09/25 |
| 电磁驱动无阀微泵结构及其MEMS制作工艺技术研究 学位论文
博士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2007
张涛
收藏 | 浏览/下载：28/0 | 提交时间：2012/03/21
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