基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

	基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵
	吴一辉 ; 张平
刊名	功能材料与器件学报
	2008-02-01
期号	1
中文摘要	基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵。微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜。电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar。
公开日期	2012-09-25
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/21502]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	吴一辉,张平. 基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵[J]. 功能材料与器件学报,2008(1).
APA	吴一辉,&张平.(2008).基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵.功能材料与器件学报(1).
MLA	吴一辉,et al."基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵".功能材料与器件学报 .1(2008).