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浏览/检索结果: 共6条，第1-6条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 五维自由度衍射光栅精密测量系统（英文） 期刊论文 中国光学, 2020, 卷号: 13, 期号: 01, 页码: 189-202 作者:  吕强;  王玮;  刘兆武;  宋莹;  姜珊 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2021/07/06 衍射光栅  精密测量  五维自由度   扫描干涉场曝光系统光斑尺寸与光路设计 期刊论文 中国激光, 2017, 页码: 166-175 作者:  王玮;  姜珊;  宋莹;  巴音贺希格 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2018/04/09 光栅  扫描干涉场曝光系统  高斯光束  光斑尺寸  光路设计   基于线阵图像传感器的高分辨力单圈绝对式编码方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 11, 页码: 111-117 作者:  杜颖财;  于海;  万秋华;  宋路 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2017/09/17 测量  高分辨力  编码方式  图像识别  码盘   基于快速图像识别的单圈绝对式编码器译码方法 期刊论文 光学学报, 2016, 期号: 11 作者:  杜颖财;  宋路;  万秋华;  于海 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/09/17 高分辨力  编码方式  图像识别  码盘   大光栅刻划机刻划系统结构设计与刻线弯曲误差机械修正 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2015 作者:  宋楠 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2015/11/30 大光栅刻划机  刻划系统  光栅刻线弯曲误差  机械修正方法  气浮导轨   扫描干涉场曝光系统中周期设定对曝光刻线相位的影响 期刊论文 光学学报, 2014, 期号: 9, 页码: 55-62 姜珊; 巴音贺希格; 李文昊; 宋莹; 潘明忠 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2015/04/17 光栅  扫描干涉场曝光系统  相位锁定  光栅周期  刻线误差