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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 专题：北京航空航天大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 ICP刻蚀硅形貌控制研究 期刊论文 传感技术学报, 2011, 卷号: 24, 页码: 200-203 作者:  刘欢;  周震;  刘惠兰;  冯丽爽;  王坤博 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2020/01/06 ICP刻蚀  硅  形貌控制  bowing效应  工艺参数