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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：西安交通大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Characterization of sidewall roughness for silicon microstructures in micro actuator 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF APPLIED ELECTROMAGNETICS AND MECHANICS, 2010, 卷号: 33, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 985-990 作者:   收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/10 line edge roughness (LER)  Micro actuator  deep reactive ion etching (DRIE)  scanning electron microscope (SEM)   Characterization of Sidewall Roughness for Silicon Microstructures in Micro-actuators 会议论文 作者:  Han, Guoqiang;  Jiang, Zhuangde;  Jing, Weixuan;  Gao, Jianzhong 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/18 Line edge roughness (LER)  SEM  Micro-actuator  MEMS  Sidewall roughness