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浏览/检索结果: 共8条，第1-8条 帮助 限定条件 专题：北京大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Status of silicon carbide micromachining, circuits and sensing devices 期刊论文 2011 Tang, Wei; Zhang, Haixia 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 A micro diffuser/nozzle pump with fins on the sidewall 其他 2007-01-01 Li, X.H.; Yu, X.M.; Zhang, D.C.; Li, Z.H.; Xu, W.H. 收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10 A micro diffuser/nozzle pump with fins on the sidewall 其他 2007-01-01 Li, X. H.; Yu, X. M.; Zhang, D. C.; Li, Z. H.; Xu, W. H. 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2015/11/13 diffuser/nozzle  fins  flow efficiency  diffuser/nozzle pump  FLOW  MICRONOZZLE/DIFFUSER  ELEMENTS   Micro-jet pump for micro-fluidic systems 其他 2006-01-01 Li, Xiuhan; Yu, Xiaomei; Cui, Hailiang; Li, Zhanhua; Zhang, Dacheng 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13 micro-jetpump  nozzle  diffuser  throat pipe  MAGNETOHYDRODYNAMIC MICROPUMP  FABRICATION  MICROVALVES  DEVICES  DESIGN  VALVES   Design, fabrication and characterization of novel micromirror with vertical torsion comb driver 期刊论文 nami jishu yu jingmi gongchengnanotechnology and precision engineering, 2006 Li, Da-Chao; Wu, Wen-Gang; Yuan, Yong; Hao, Yi-Long; Hu, Xiao-Tang 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 An experimental study on high-temperature metallization for micro-hotplate-based integrated gas sensors 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Yan, GZ; Tang, ZN; Chan, PCH; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, YY 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11 MEMS  metallization  metal electrode  TECHNOLOGY   An integrated gas sensor technology using surface micro-machining 期刊论文 sensors and actuators b chemical, 2002 Chan, PCH; Yan, GZ; Sheng, LY; Sharma, RK; Tang, Z; Sin, JKO; Hsing, IM; Wang, Y 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/11 integrated sensor  gas sensor  surface micro-machine  micro-hotplate  carbon monoxide sensor   Design of a novel bulk micro-machined RF MEMS switch 其他 2002-01-01 Zhang, HX; Hao, YL; Xiao, ZY; Luo, DM; Finch, N; Marchetti, J; Keating, D; Narasimha, V 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2015/11/13 RF switch  MEMS  simulation  CAD