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厦门大学 [5]
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Cu互连技术中薄膜扩散阻挡层的制备及热稳定性研究
学位论文
2017, 2016
戴拖
收藏
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2017/06/20
Cu互连技术
磁控溅射
扩散阻挡层
热稳定性
Cu interconnect materials
Magnetron sputtering
Diffusion barrier layer
Thermal stability
基于氧化还原水合凝胶纳米膜的电化学加工:纳米精度的铜抛光整平
学位论文
2016, 2013
张红万
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2017/06/20
纳米加工
氧化还原纳米膜
约束刻蚀
平坦化
铜互连结构
Nano-machining
Redox polymer
Confined etchant layer technique
planarization
Cu interconnection
无铅焊料用环保型助焊剂及焊锡膏的 制备与性能研究
学位论文
2011, 2010
王娟
收藏
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浏览/下载:6/0
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提交时间:2016/02/14
焊膏
助焊剂
核/壳焊料
活性物质
无松香
solder paste
flux
core/shell solder
activator
no-rosin
约束刻蚀剂层技术用于GaAs表面的三维微加工和Cu表面平坦化的研究
学位论文
2011, 2010
王文华
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2016/02/14
约束刻蚀剂层技术
GaAs
Cu互联结构
表面平坦化
Confined Etchant Layer Techique
GaAs
Cu Innerconnection
Surface planarization
陶瓷表面无敏化活化法微细化学镀铜
期刊论文
http://electrochem.xmu.edu.cn/CN/abstract/abstract8934.shtml, 2005
续振林
;
郭琦龙
;
沈艺程
;
赵雄超
;
洪艳萍
;
辜志俊
;
XU Zhen-lin
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2013/11/18
陶瓷基底
化学镀铜
活化
络合剂
金属化
互连导线
Ceramic
Electrolesscopperplating
Activation
Complexant
Metallization
Interconnection
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