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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 新型解耦式微陀螺的研究与设计及关键制造工艺的开发 学位论文 2011, 2011 闫鑫 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2016/02/14 微机械系统  陀螺  耦合误差  MEMS  Gyroscope  Coupling Error   硅基微机械红外光源的设计和制备 学位论文 2009, 2009 程美英 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/02/14 红外光源  MEMS  调制特性  Infrared Emitter  MEMS  Modulation Characteristics   微电子机械系统及硅微机械加工工艺 期刊论文 2003 洪永强; 蒋红霞 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2011/04/26 微电子机械系统  体微加工  表面微加工  LIGA  MEMS  Bulk micromachining  Surface micromachining