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科研机构
微电子研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2006 [1]
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一种在砷化镓上形成欧姆接触的新型六层金属系统
期刊论文
电子器件, 2006, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 9-11,109
作者:
和致经
;
张海英
;
李海鸥
;
尹军舰
;
叶甜春
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提交时间:2010/05/26
膺配高电子迁移率晶体管
欧姆接触
退火
砷化镓
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