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石英衬底上磁控溅射SiG膜退火形成SiC纳米线 期刊论文
2002, 卷号: 39, 期号: 1, 页码: 37-39
作者:  安霞;  庄惠照;  
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石英衬底上磁控溅射SiC膜退火形成SiC纳米线 期刊论文
2002, 卷号: 39, 期号: 1, 页码: 37-39
作者:  安霞;  庄惠照;  薛成山;  杨利
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