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	石英衬底上磁控溅射SiG膜退火形成SiC纳米线
	安霞; 庄惠照; 等
	2002
卷号	39期号:1页码:37-39
关键词	磁控溅射 氮退火 纳米线 薄膜 石英衬底 碳化碳
URL标识	查看原文
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/6411122
专题	山东师范大学
作者单位	山东师范大学半导体研究所，山东济南250014
推荐引用方式 GB/T 7714	安霞,庄惠照,等. 石英衬底上磁控溅射SiG膜退火形成SiC纳米线[J],2002,39(1):37-39.
APA	安霞,庄惠照,&等.(2002).石英衬底上磁控溅射SiG膜退火形成SiC纳米线.,39(1),37-39.
MLA	安霞,et al."石英衬底上磁控溅射SiG膜退火形成SiC纳米线".39.1(2002):37-39.

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