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He~+注入Si(100)缺陷退火效应的慢正电子束研究 期刊论文
核技术, 2001, 期号: 04
张天昊; 翁惠民; 范扬眉; 杜江峰; 周先意; 韩荣典; 张苗; 林成鲁
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硅中注氢热退火在晶体中产生的应力及其对晶体结构的影响 期刊论文
核技术, 2000, 期号: 03
多新中; 刘卫丽; 张苗; 高剑侠; 符晓荣; 林成鲁
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