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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 微电子机械器件压膜空气阻尼的一般化雷诺方程(英文) 期刊论文 半导体学报, 2002, 期号: 12 鲍敏杭; 孙远程; 杨恒; 王跃林 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/01/06 高gn值加速度传感器  传感器封装  频域分析  时域分析