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大连理工大学 [5]
内容类型
期刊论文 [5]
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2017 [1]
2015 [1]
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2008 [1]
2007 [1]
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专题:大连理工大学
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开放式光谱椭偏实验教学中的科研训练
期刊论文
实验技术与管理, 2017, 卷号: 34, 页码: 181-184
作者:
陈莉
;
尹鹏和
;
刘军山
;
徐征
;
崔岩
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提交时间:2019/12/03
光谱椭偏仪
椭偏实验
折射率
膜厚
MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较
期刊论文
传感器与微系统, 2015, 卷号: 34, 页码: 15-17,21
作者:
陈莉
;
尹鹏和
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/09
薄膜厚度
接触式表面轮廓仪
光谱椭偏仪
椭偏法测量薄膜参数的实验改进
期刊论文
物理与工程, 2013, 卷号: 23, 页码: 42-44,50
作者:
姚志
;
丁洪斌
;
杨华
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/11
椭偏仪
载物台
等幅椭圆偏振光
光接收器
聚合物光波导放大器材料的光学参数及器件制备
期刊论文
光电子·, 激光, 2008, 卷号: 19, 页码: 735-738
作者:
张希珍
;
高强
;
刘自强
;
张大明
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提交时间:2019/12/27
聚合物
光波导
折射率
消光系数
椭偏仪
用在线椭偏仪研究非晶碳氢膜沉积和刻蚀过程
期刊论文
核聚变与等离子体物理, 2007, 卷号: 27, 页码: 163-167
作者:
孙超
;
徐军
;
马腾才
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/27
椭偏仪
非晶碳氢膜
沉积
刻蚀
光学参数
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