| MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较 | |
| 陈莉; 尹鹏和 | |
| 刊名 | 传感器与微系统
 |
| 2015 | |
| 卷号 | 34页码:15-17,21 |
| 关键词 | 薄膜厚度 接触式表面轮廓仪 光谱椭偏仪 |
| ISSN号 | 1000-9787 |
| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 期刊论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4403608 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 1.大连理工大学 机械工程学院，辽宁 大连116024 2.大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁 大连116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 陈莉,尹鹏和. MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较[J]. 传感器与微系统,2015,34:15-17,21. |
| APA | 陈莉,&尹鹏和.(2015).MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较.传感器与微系统,34,15-17,21. |
| MLA | 陈莉,et al."MEMS制造中精确测量薄膜厚度的方法研究与比较".传感器与微系统 34(2015):15-17,21. |
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