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科研机构
北京大学 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2011 [1]
1998 [1]
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内容类型:期刊论文
专题:北京大学
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硅DRIE刻蚀工艺模拟研究
期刊论文
中国电子科学研究院学报, 2011
朱福运
;
于民
;
金玉丰
;
张海霞
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提交时间:2015/11/11
硅通孔技术
深反应离子刻蚀
工艺模拟
从集成电路迈向微系统
期刊论文
中国计算机用户, 1998
王阳
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微系统技术
微光学
潜在市场
仪器仪表
技术进步
硅芯片
微机械加工
社会需求量
微加工技术
表面微结构
高性能石墨烯霍尔传感器
期刊论文
物理学报, 0
黄乐
;
张志勇
;
彭练矛
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提交时间:2017/12/03
石墨烯
霍尔传感器
霍尔元件
霍尔集成电路
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