从集成电路迈向微系统

CORC > 北京大学 > 信息科学技术学院

	从集成电路迈向微系统
	王阳
刊名	中国计算机用户
	1998
关键词	微系统技术微光学潜在市场仪器仪表技术进步硅芯片微机械加工社会需求量微加工技术表面微结构
英文摘要	目前,集成电路技术已发展到可以将微电子、微光学、微机械结合起来。形成一种新的复杂的多功能微系统。微系统被人们称为传统工业的维生素。微系统产品社会需求量不断上升,并在消费电子、通讯设备、医疗器件、自动控制、仪器仪表等方面形成了巨大的潜在市场。正是技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术逐渐向微系统技术迈进。; 0; 18; 19
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/183684]
专题	信息科学技术学院
推荐引用方式 GB/T 7714	王阳. 从集成电路迈向微系统[J]. 中国计算机用户,1998.
APA	王阳.(1998).从集成电路迈向微系统.中国计算机用户.
MLA	王阳."从集成电路迈向微系统".中国计算机用户 (1998).