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悬臂梁—质量块结构的吸合时间式数字加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2008
杨恒; 庞洁; 李昕欣; 王跃林
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微机械芯片测试探卡及制造方法 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
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一种硅微加速度传感器及制作方法 成果
鉴定: 无, 2006
李昕欣; 王跃林
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曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:26/0  |  提交时间:2013/04/12
高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
李昕欣; 王跃林; 张鲲; 熊斌; 陆德仁; 罗乐
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高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究 成果
鉴定: 无, 2004
李昕欣; 王跃林; 张鲲; 熊斌; 陆德仁; 罗乐
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自对准腐蚀制作微结构的方法及其制造的红外探测器 成果
鉴定: 无, 2003
熊斌; 王跃林; 徐峥谊
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一种利用(100)硅片制作的微机械光开关 成果
鉴定: 无, 2001
李铁; 王跃林
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