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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：成果    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 成果 鉴定: 无, 2008 未知 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2013/04/12 控制键合过程中玻璃或有机胶塌陷的支撑体(中科院) 成果 鉴定: 无, 2004 罗乐 收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2013/04/12 控制键合过程中玻璃或有机胶塌陷的支撑体 成果 鉴定: 无, 2004 罗乐 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2013/04/12