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| 熔融先驱体法制备连续SiC自由薄膜及其结构与发光特性研究 学位论文
2011, 2010
姚荣迁
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 约束刻蚀剂层技术用于GaAs表面的三维微加工和Cu表面平坦化的研究 学位论文
2011, 2010
王文华
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 电容式微陀螺专用集成接口电路研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2009
李金鹏
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 半导体激光反馈光注入式硅微机械谐振传感技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009
作者: 王少卿
收藏 | 浏览/下载：51/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 高隔离度的射频微机电开关的研究 学位论文
2008, 2008
林玲玲
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 微系统中的电化学微加工技术——约束刻蚀剂层技术研究 学位论文
2008, 2001
孙建军
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/02/14
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| 基于MEMS的光纤加速度计的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
曾凡林
收藏 | 浏览/下载：173/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 自呼吸式硅微机械微质子交换膜燃料电池关键技术研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2008
郑丹
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 低张力振动膜硅微电容传声器的研究 学位论文
博士, 声学研究所: 中国科学院声学研究所, 2007
张晓辉
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2011/05/07
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| 约束刻蚀剂层技术（CELT）用于金属材料表面复杂三维微结构的加工研究 学位论文
2007, 2007
蒋利民
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/02/14
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