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科研机构
四川大学 [2]
河北大学 [2]
内容类型
学位论文 [4]
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2007 [2]
2005 [1]
2003 [1]
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低温非平衡甲烷等离子体发射光谱诊断
学位论文
: 四川大学, 2007
作者:
罗利霞
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/22
螺旋波等离子体
发射光谱法
甲烷
等离子体化学气相沉积
纳米硅/氮化硅微结构发光机制研究
学位论文
: 河北大学, 2007
作者:
丁文革[1]
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/31
纳米硅结构
氮化硅薄膜
螺旋波等离子体化学气相沉积
发光机制
低温氢等离子体诊断
学位论文
: 四川大学, 2005
作者:
王加扣
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提交时间:2019/04/22
等离子体诊断
螺旋波等离子体化学气相沉积
langmuir单探针
射频补偿探针
发射光谱
氢等离子体
氮化硅薄膜的螺旋波PECVD及其光学特性研究
学位论文
: 河北大学, 2003
作者:
侯海虹[1]
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提交时间:2019/12/31
螺旋波等离子体
氮化硅薄膜
化学气相沉积
纳米硅薄膜
光致发光
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