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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 用于多目标光谱仪的微镜阵列关键制作工艺技术研究 学位论文 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2009 作者:  李加东 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2012/03/21 微镜阵列  微电镀  叠层光刻胶  双层光刻胶  释放技术   新型高性能大尺寸电磁驱动MEMS光学扫描执行器 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所）  , 2008 穆参军 收藏  |  浏览/下载：65/0  |  提交时间：2012/03/06 微电子机械系统  　高速大尺寸光学扫描镜  　电磁驱动执行器  　三明治蜂窝夹层结构  　镜面动态形变  　线扫描光学分辨率