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科研机构
上海微系统与信息技术... [5]
内容类型
学位论文 [5]
发表日期
2012 [2]
2007 [1]
2006 [1]
2005 [1]
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内容类型:学位论文
专题:上海微系统与信息技术研究所
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三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
王军诚
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浏览/下载:99/0
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提交时间:2013/04/24
压阻式三轴集成加速度传感器
抗过载
SIP微模块
芯片级封装
硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2012
张志强
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浏览/下载:150/0
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提交时间:2013/04/24
芯片级原子钟
激光键合
键合强度
气密性
多层缓冲原子腔
全芯片集成毫米波前端及其关键MMIC芯片技术研究
学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王闯
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浏览/下载:356/0
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提交时间:2012/03/06
毫米波宽带低噪声放大器
芯片级电磁仿真
混合环混频器
FMCW雷达前端
毫米波辐射计
基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2006
王彬
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/03/06
磁珠
MEMS
微流体
模拟分析
平面线圈
塑性材料微加工
MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究
学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2005
刘玉菲
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浏览/下载:65/0
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提交时间:2012/03/06
芯片级原子钟
低温键合
气密性封装
苯并环丁烯(BCB)
渗流模型
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