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三轴集成加速度传感器及其SIP微模块集成的研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2012
王军诚
收藏  |  浏览/下载:99/0  |  提交时间:2013/04/24
硅玻璃激光键合技术及芯片级原子钟气密性 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2012
张志强
收藏  |  浏览/下载:150/0  |  提交时间:2013/04/24
全芯片集成毫米波前端及其关键MMIC芯片技术研究 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2007
王闯
收藏  |  浏览/下载:356/0  |  提交时间:2012/03/06
基于MEMS技术的磁珠微芯片的模拟及工艺研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2006
王彬  
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2012/03/06
MEMS原子钟理论、设计及Cs/Rb气体盒气密性封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2005
刘玉菲  
收藏  |  浏览/下载:65/0  |  提交时间:2012/03/06


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