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高可靠性电子封装中防潮薄膜技术的研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2003
黄卫东  
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等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅薄膜的防潮性能研究[D] 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院上海冶金研究所,1999, 1999
林辉
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等离子体增强化学气相沉积(PECVD)方法制备碳化硅薄膜及其性质研究[D] 学位论文
硕士: 中国科学院上海冶金研究所, 1999
姜利军
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等离子体增强化学气相沉积(PECVD)氮化硅薄膜的防潮性能研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海冶金研究所)  , 1998
林辉
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