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北京大学 [3]
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其他 [3]
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2016 [2]
1991 [1]
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Enhanced Recrystallization of Ultra-Thin a-Silicon Film by 2-D Confined Lattice Regrowth
其他
2016-01-01
Zhang, Hao
;
Li, Ming
;
Chen, Gong
;
Yang, Yuancheng
;
Huang, Ru
收藏
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2017/12/03
Monolithic 3D integration
Amorphous silicon
Two Dimensional (2D) Recrystallization
Capping layer
Improved Crystallinity of Ultra-thin Amorphous Film By 2D-limited Regrowth: Process and Characterization
其他
2016-01-01
Yuancheng Yang
;
Ming Li
;
Gong Chen
;
Hao Zhang
;
Xiaoyan Xu
;
Ru Huang
收藏
  |  
浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2017/12/03
Monolithic 3D integration
Amorphous silicon
Two Dimensional(2D) Recrystallization
Capping layer
Monolithic 3D integration
Amorphous silicon
Two Dimensional(2D) Recrystallization
Capping layer
HIGH-RESOLUTION ELECTRON-MICROSCOPY ANALYSIS OF ION-BEAM INDUCED ANNEALING OF MEV AS+ ION-IMPLANTED SILICON
其他
1991-01-01
ZHANG, BX
;
WANG, ZL
;
QI, L
;
ZHANG, PJ
;
ZHENG, JG
;
WANG, LC
;
DU, AY
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2015/11/16
INDUCED EPITAXIAL REGROWTH
AMORPHOUS-SILICON
RECRYSTALLIZATION
SI
DAMAGE
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