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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Inductively coupled plasma etching of bulk tungsten for MEMS applications 其他 2014-01-01 Song, Lu; Li, Nannan; Zhang, Shibin; Luo, Jin; Hu, Jia; Zhang, Yiming; Chen, Shuhui; Chen, Jing 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13 Servo control system of electrical discharge machining based on PMAC 其他 2014-01-01 Chu, Xu Yang; Liu, Gang; Wang, Chun Mei; Zhu, Kai; Chen, Da Yun; Feng, Wu Jun; Zhi, Wang; 禇旭阳; 刘刚 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2015/07/22 Control systems  Electric discharge machining  Feedback  Pneumatic control equipment  Real time control   Hub eccentricity measurement based on machine vision 其他 2013-01-01 Rui, Han; Zhang, Feng Ling; Guo, Shu Xia; Yin, Peng; Wang, Lei; 王磊 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2015/07/22 Bolts  Measurements  Statistics   INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCHING OF BULK MOLYBDENUM 其他 2012-01-01 Hu, J.; Zhang, Y.; Chen, S.; He, S.; Li, N.; Chen, J. 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13