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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：其他     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 聚酰亚胺薄膜工艺及其在MEMS中的应用 其他 2007-01-01 耿小宝; 张海霞; 唐观荣; 田大宇; 李素兰; 张国炳 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12 聚酰亚胺薄膜 工艺流程 刻蚀工艺 性能评价 微机电系统