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北京大学 [3]
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其他 [3]
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2008 [2]
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热氧化Ti膜制备TiO_2-AlGaN/GaN结构的Ⅰ-Ⅴ特性
其他
2008-01-01
董志华
;
王金延
;
郝一龙
;
文正
;
王阳元
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
TiO_2
AlGaN/GaN
热氧化
泄漏电流
热氧化电子束蒸发Ti膜制备TiO2-AlGaN/GaN MIS结构的工艺及泄漏电流特性研究
其他
2008-01-01
董志华
;
王金延
;
郝一龙
;
文正
;
王阳元
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
二氧化钛薄膜 热氧化电子束蒸发 泄漏电流 退火工艺
超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用
其他
2004-01-01
王银川
;
许向东
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2015/10/24
超高真空系统
电子束蒸发
恒温控制系统
纳米技术
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