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科研机构
北京大学 [10]
内容类型
其他 [10]
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2009 [1]
2006 [1]
2003 [4]
2001 [1]
2000 [3]
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Ti DRIE中Lag效应的基础研究
其他
2009-01-01
张乐吟
;
赵刚
;
舒琼
;
田尧
;
陈兢
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2015/11/12
金属钛 加工工艺 感应耦合 机械特性 耐腐蚀性 微机电系统
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜
其他
2006-01-01
栗大超
;
吴文刚
;
袁勇
;
陈庆华
;
郝一龙
;
胡小唐
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
MEMS 扭转微镜 硅微加工 SOI 复合驱动 表面粗糙度
BioMEMS--生物医学诊断和治疗的桥梁
其他
2003-01-01
于晓梅
;
张大成
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
生物微机电系统
生物体内
生物体外
生物芯片
生物传感器
基于计算机视觉的MEMS测试系统
其他
2003-01-01
冯亚林
;
栗大超
;
金翠云
;
郝一龙
;
张大成
;
靳世久
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微机电系统
计算机视觉
图像测量
测试系统
几何尺寸
动态特性
测量精度
MEMS隧道加速度计
其他
2003-01-01
贾玉斌
;
董海峰
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微机电系统
隧道电流
加速度计
一种新型静电驱动的单轴扭转微镜
其他
2003-01-01
王丛舜
;
熊春阳
;
杨振川
;
张大成
;
方竞
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
梳齿驱动器 体硅工艺 静电驱动 扭转微镜 微机电系统
微机电系统中残余应力的检测和应用研究
其他
2001-01-01
王丛舜
;
昌盛
;
方竞
;
张大成
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/12
微机电系统 残余应力 谐振频率 阈值电压 微加工工艺
多晶硅薄膜在微机械光开关中的应用
其他
2000-01-01
张培玉
;
武国英
;
李婷
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微扭转镜
微机械光开关
多晶硅薄膜
微光机电系统
微机械光开关中的微扭转镜阵列
其他
2000-01-01
张培玉
;
郝一龙
;
李婷
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微扭转镜
微机械光开关
多晶硅薄膜
微光机电系统
微机械光开关及阵列的研究与发展
其他
2000-01-01
张培玉
;
武国英
;
郝一龙
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2015/11/11
微机械光开关
微机电系统
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