| 基于计算机视觉的MEMS测试系统 | |
| 冯亚林 ; 栗大超 ; 金翠云 ; 郝一龙 ; 张大成 ; 靳世久 | |
| 2003 | |
| 关键词 | 微机电系统 计算机视觉 图像测量 测试系统 几何尺寸 动态特性 测量精度 |
| 英文摘要 | 根据MEMS测试的要求,设计并实现了一种基于计算机视觉的MEMS测试系统.该系统是一个典型的光、机、电、算集成的MEMS测试系统,已应用于MEMS微结构几何尺寸和动态特性等的测量.因采用了亚像元定位技术,系统具有较高的测量精度.应用表明该系统具有较好的灵活性和扩充性,测量速度快,测试简便,有较好的工程应用价值.; 0 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 其他 |
| 源URL | [http://ir.pku.edu.cn/handle/20.500.11897/185791]  |
| 专题 | 信息科学技术学院 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 冯亚林,栗大超,金翠云,等. 基于计算机视觉的MEMS测试系统. 2003-01-01. |
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