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内容类型:会议论文
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Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
  |  
浏览/下载:18/0
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提交时间:2021/05/06
Gas flow simulation research on reaction chamber of reactive ion etching
会议论文
Chengdu, China, June 26, 2018 - June 29, 2018
作者:
Zhang, Jingwen
;
Bin, Fan
;
Li, Zhiwei
;
Liu, Xin
;
Li, Bincheng
收藏
  |  
浏览/下载:25/0
  |  
提交时间:2020/11/15
Computer simulation
Electrodes
Gases
Heat transfer
Ions
Manufacture
Mass transfer
Pressure distribution
Reactive ion etching
Surface waves
Commercial software
Distribution profiles
Electrode surfaces
Etching uniformity
Fluent(Ansys)
Gas flow distribution
Heat transfer model
Plasma distribution
Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching
会议论文
Chengdu, PEOPLES R CHINAChengdu, PEOPLES R CHINA, JUN 26-29, 2018JUN 26-29, 2018
作者:
Zhang Jingwen
;
Fan Bin
;
Li Zhiwei
;
Liu Xin
;
Li Bincheng
收藏
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浏览/下载:27/0
  |  
提交时间:2019/08/23
reactive ion etching
Fluent(Ansys)
numerical simulation
pressure distribution
Gas Flow Simulation Research on Reaction Chamber of Reactive ion etching
会议论文
作者:
Zhang Jingwen
;
Fan Bin
;
Li Zhiwei
;
Liu Xin
;
Li Bincheng
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/11/15
reactive ion etching
Fluent(Ansys)
numerical simulation
pressure distribution
The immunity of doping-less junctionless transistor variations including the line edge roughness
会议论文
Hong Kong, Hong kong, August 3, 2016 - August 5, 2016
作者:
Wan, Wenbo
;
Lou, Haijun
;
Xiao, Ying
;
Lin, Xinnan
收藏
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浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2020/11/15
Etching
Semiconductor doping
Transistors
Charge plasmas
Electrical characteristic
Etching process
Junctionless
Junctionless transistors
Line Edge Roughness
ON/OFF current ratio
variation
First measurement of the edge charge exchange recombination spectroscopy on EAST tokamak
会议论文
Madison, WI, 2016
作者:
Y. Y. Li
;
X. H. Yin
;
J. Fu
;
D. Jiang
;
S. Y. Feng
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2017/07/21
Modelling of Impurity Transport and Plasma-Wall Interaction in Fusion Devices with the ERO Code: Basics of the Code and Examples of Application
会议论文
Nara Kasugano Int Forum IRAKA, Nara, JAPAN, 2015
作者:
A. Kirschner
;
D. Tskhakaya
;
G. Kawamura
;
D. Borodin
;
S. Brezinsek
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2017/07/27
The Immunity of Doping-less Junctionless Transistor Variations Including the Line Edge Roughness
会议论文
作者:
Wan, Wenbo
;
Lou, Haijun
;
Xiao, Ying
;
Lin, Xinnan
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2019/11/15
charge-plasma
Junctionless
LER
variation
Charge transfer in collisions of Beq+ (q=2-4) and Bq+ (q=3-5) ions with H
会议论文
作者:
Wu, Y.
;
Liu, L.
;
Liu, C. H.
;
Qu, Y. Z.
;
Wang, J. G.
收藏
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浏览/下载:15/0
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提交时间:2018/08/20
A small-scale EUV jet in the quiet Sun region
会议论文
作者:
Hong JC(洪俊超)
;
Jiang YC(姜云春)
;
Zheng RS(郑瑞生)
;
Bi Y(毕以)
;
Bi Y(毕以)
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/04/11
Sun: magnetic fields
Sun: evolution
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