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科研机构
大连理工大学 [1]
长春光学精密机械与物... [1]
上海微系统与信息技术... [1]
内容类型
会议论文 [3]
发表日期
2009 [2]
2002 [1]
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服务于微电子产业的MEMS新技术
会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
程融
;
蒋珂玮
;
李昕欣
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2012/01/18
微电子产业 UV-LIGA技术 金属电镀 MEMS器件 微细加工 硅微机械
柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究
会议论文
中国微米纳米技术学会第十一届学术年会, 哈尔滨, 2009-08-12
作者:
刘帅
;
褚金奎
;
张然
;
王文静
收藏
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/24
正交试验
电热微夹钳
胶模内应力
制作工艺
柔性机构
基于微机械工艺的平面电机及其制作
会议论文
中国北京
郭占社
;
吴一辉
;
张平
;
梁静秋
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2013/03/19
平面微电机
定子
转子
LIGA工艺
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