| 柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究 | |
| 刘帅; 褚金奎; 张然; 王文静 | |
| 2009 | |
| 会议名称 | 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 |
| 会议日期 | 2009-08-12 |
| 会议地点 | 哈尔滨 |
| 关键词 | 正交试验 电热微夹钳 胶模内应力 制作工艺 柔性机构 |
| 页码 | 29-30 |
| 会议录 | 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
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| URL标识 | 查看原文 |
| 内容类型 | 会议论文 |
| URI标识 | http://www.corc.org.cn/handle/1471x/5325114 |
| 专题 | 大连理工大学 |
| 作者单位 | 大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，大连，116024 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 刘帅,褚金奎,张然,等. 柔性电热微夹钳的UV-LIGA制作工艺研究[C]. 见:中国微米纳米技术学会第十一届学术年会. 哈尔滨. 2009-08-12. |
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