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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Absolute testing of flats in sub-stitching interferometer by rotation-shift method 会议论文 Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2015 作者:  Jia, Xin;  Xu, Fuchao;  Xie, Weimin;  Li, Yun;  Xing, Tingwen 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/23 The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer 会议论文 Proceedings of SPIE: 7th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies: Optical Test and Measurement Technology and Equipment, 2014 作者:  Yao, Zhengpeng;  Liu, Xuefeng;  Xing, Tingwen 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23 Positioning scheme based on grating modulation and phase imaging in lithography 会议论文 Proceedings of the SPIE - The International Society for Optical Engineering, 2010 作者:  Shaolin Zhou;  Feng Xu;  Song Hu;  Xiaoping Tang 收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/24