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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：大连理工大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 非晶碳氢膜刻蚀率与离子能量分布函数关系的研究 会议论文 2009年全国微波毫米波会议, 西安, 2009-05-01 作者:  孙超 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/24 离子能量分析器  椭偏仪  非晶碳氢膜  刻蚀率  微波ECR设备  离子能量测量  离子流密度