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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：会议论文    专题：清华大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 介质上电润湿液滴驱动的研究 会议论文 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（二）, 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会 吴建刚; 岳瑞峰; 曾雪锋; 刘理天; Wu Jiangang; Yue Ruifeng; Zeng Xuefeng; Liu Litian 收藏  |  浏览/下载：2/0 Fabrication of SiCN MEMS by UV lithography of polysilazane 会议论文 High-Performance Ceramics IV, Pts 1-3, 4th China International Conference on High-Performance Ceramics (CICC-4), Chengdu, PEOPLES R CHINA, Web of Science Wang, Huatao; Xie, Zhipeng; Yang, Weiyou; Liu, Guoquan; An, Linan 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2017/06/15 SiCN  MEMS  polysilazane  UV lithography  photo initiator  CERAMIC MEMS  POLYMER  Materials Science, Ceramics  Materials Science, Composites